kSA MOS Ultra Scan離線薄膜應力測量系統(tǒng):對薄膜的應力、表面曲率和翹曲進行準確的測量,還可對二維應力
Mapping成像統(tǒng)計分析;同時準確測量應力、曲率隨溫度變化的關系。